Method and appartus to determine dimensional paramters of a block co-polymer structure

WO2013107740 Art A2 25. Juli 2013

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013107740
Aktenzeichen: EP13700701
Anmeldetag: 15. Januar 2013
Veröffentlichung: 25. Juli 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G06T7/00G06F17/50G06T7/60

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

Vertreten von