Charged particle beam illumination system

WO2013108534 Art A1 25. Juli 2013

Anmelder: Sumitomo Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013108534
Aktenzeichen: EP12865864
Anmeldetag: 18. Dezember 2012
Veröffentlichung: 25. Juli 2013
Rechtsraum: WO
IPC: A61N5/10G21K5/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Heavy Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio. Sumitomo Heavy Industries fertigt Maschinenbauprodukte, Baumaschinen, Getriebe sowie Anlagen für Umwelttechnik und Schiffbau.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Medizintechnik & Gesundheit

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