Charged particle beam microscope, sample holder for charged particle beam microscope, and charged particle beam microscopy

WO2013108711 Art A1 25. Juli 2013

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013108711
Aktenzeichen: EP13738031
Anmeldetag: 11. Januar 2013
Veröffentlichung: 25. Juli 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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