Film-forming apparatus
WO2013108751
Art A1
25. Juli 2013
Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013108751
- Aktenzeichen
- EP13738993
- Anmeldetag
- 15. Januar 2013
- Veröffentlichung
- 25. Juli 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C16/44C23C14/00C23C14/12C23C14/56C23C16/455C23C16/54
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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