Masked film-formation device and masked film-formation method

WO2013108823 Art A1 25. Juli 2013

Anmelder: V Technology Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013108823
Aktenzeichen
EP13738186
Anmeldetag
17. Januar 2013
Veröffentlichung
25. Juli 2013
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/04H05B33/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
V Technology Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 V Technology

V Technology ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Displays und Halbleiter. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik, ergänzt um Fertigungs- und Messtechnik. Anmeldungen laufen von 2005 bis in die Gegenwart.

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