Element structure, and element structure manufacturing method

WO2013111218 Art A1 1. August 2013

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013111218
Aktenzeichen: EP12866581
Anmeldetag: 30. Oktober 2012
Veröffentlichung: 1. August 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H05B33/04H01L51/50H05B33/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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