Substrate transfer system and substrate transfer method

WO2013111358 Art A1 1. August 2013

Anmelder: Shimadzu Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013111358
Aktenzeichen: EP12866587
Anmeldetag: 23. Mai 2012
Veröffentlichung: 1. August 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677C23C16/458

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shimadzu Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shimadzu

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Kyoto. Shimadzu entwickelt Analyse- und Messgeräte, medizinische Bildgebungssysteme sowie Komponenten für Luft- und Raumfahrt, Industrie und Wissenschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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