Verfahren zum Betrieb einer Mikrolithografischen Projektionsbelichtungsvorrichtung und Projektionsobjektiv einer Solchen Vorrichtung
WO2013113336
Art A1
8. August 2013
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013113336
- Aktenzeichen
- EP12702980
- Anmeldetag
- 4. Februar 2012
- Veröffentlichung
- 8. August 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/20G02B7/02G02B27/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Schwanhäusser, Gernot
Stuttgart, Deutschland
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