Projektionsbelichtungsvorrichtung mit einem Messsystem zur Messung eines Optischen Elements

WO2013113480 Art A1 8. August 2013

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013113480
Aktenzeichen: EP13703993
Anmeldetag: 23. Januar 2013
Veröffentlichung: 8. August 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G02B27/00G01N21/41G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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