A stage system and a lithographic apparatus

WO2013113632 Art A2 8. August 2013

Anmelder: ASML Netherlands B.V., Koninklijke Philips Electronics N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013113632
Aktenzeichen: EP13701763
Anmeldetag: 25. Januar 2013
Veröffentlichung: 8. August 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
Koninklijke Philips Electronics N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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🇳🇱 Philips

Niederländisches Technologieunternehmen mit Sitz in Amsterdam, spezialisiert auf Medizintechnik, Diagnosegeräte, Patientenüberwachung sowie Gesundheits- und Wellnessprodukte.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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