Excimer lamp, and method for production of arc tube for excimer lamp
WO2013114718
Art A1
8. August 2013
Anmelder: Ushio Denki Kabushiki Kaisha 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013114718
- Aktenzeichen
- EP12867062
- Anmeldetag
- 29. November 2012
- Veröffentlichung
- 8. August 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J65/00H01J9/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ushio Denki Kabushiki Kaisha
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ushio Inc.
Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.
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