Chemical solution for forming water-repellent protective film, chemical solution kit for forming water-repellent protective film, and method for washing wafer
WO2013115021
Art A1
8. August 2013
Anmelder: Central Glass Company, Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013115021
- Aktenzeichen
- EP13742853
- Anmeldetag
- 23. Januar 2013
- Veröffentlichung
- 8. August 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304H01L21/027C07F7/10C09K3/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Central Glass Company, Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Central Glass
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.
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