Chemical solution for forming water-repellent protective film, chemical solution kit for forming water-repellent protective film, and method for washing wafer

WO2013115021 Art A1 8. August 2013

Anmelder: Central Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013115021
Aktenzeichen
EP13742853
Anmeldetag
23. Januar 2013
Veröffentlichung
8. August 2013
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304H01L21/027C07F7/10C09K3/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Central Glass Company, Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

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