Transmission optical system, illumination optical system, exposure device, and device manufacturing method

WO2013115208 Art A1 8. August 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013115208
Aktenzeichen: EP13743926
Anmeldetag: 30. Januar 2013
Veröffentlichung: 8. August 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G02B13/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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