Purging device and purging method for substrate-containing vessel

WO2013115222 Art A1 8. August 2013

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013115222
Aktenzeichen: EP13743359
Anmeldetag: 30. Januar 2013
Veröffentlichung: 8. August 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677B65B31/00B65D85/86H01L21/673

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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