Measurement of depth and energy of buried trap states in dielectric films by single electron tunneling force spectroscopy
WO2013116508
Art A1
8. August 2013
Anmelder: University of Utah Research Foundation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013116508
- Aktenzeichen
- EP13743965
- Anmeldetag
- 31. Januar 2013
- Veröffentlichung
- 8. August 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01S17/08G01S17/89G01R19/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- University of Utah Research Foundation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of Utah Research Foundation
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