Verfahren und Vorrichtung zum Parallelen Trennen eines Werkstücks in Mehrere Teilstücke

WO2013117301 Art A1 15. August 2013

Anmelder: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013117301
Aktenzeichen: EP13706418
Anmeldetag: 25. Januar 2013
Veröffentlichung: 15. August 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67H01L21/304H01L21/78B23K26/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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