Methods and apparatuses for detecting contaminant particles

WO2013117448 Art A1 15. August 2013

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013117448
Aktenzeichen: EP13703344
Anmeldetag: 28. Januar 2013
Veröffentlichung: 15. August 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/94G01N21/956G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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