Electrostatic chuck device

WO2013118781 Art A1 15. August 2013

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013118781
Aktenzeichen: EP13747074
Anmeldetag: 6. Februar 2013
Veröffentlichung: 15. August 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683B23Q3/15H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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🇯🇵 Sumitomo Osaka Cement

Sumitomo Osaka Cement ist ein japanisches Unternehmen, das neben klassischer Zementproduktion auch elektronische und optische Materialien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch anorganische Chemie und Werkstoffe. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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