Electrostatic chuck device

WO2013118781 Art A1 15. August 2013

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013118781
Aktenzeichen: EP13747074
Anmeldetag: 6. Februar 2013
Veröffentlichung: 15. August 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683B23Q3/15H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von