Film forming composition and ion implantation method

WO2013118879 Art A1 15. August 2013

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013118879
Aktenzeichen
EP13746960
Anmeldetag
8. Februar 2013
Veröffentlichung
15. August 2013
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/265C08L101/00G03F7/11H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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