Verfahren zum Abkühlen von Scheiben aus Halbleitermaterial

WO2013120696 Art A1 22. August 2013

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013120696
Aktenzeichen
EP13702980
Anmeldetag
31. Januar 2013
Veröffentlichung
22. August 2013
Rechtsraum
WO
IPC
C30B33/02C23C16/56H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Siltronic AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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