Semiconductor processing system, semiconductor device manufacturing method, device data collecting method, control program, and readable storage medium
WO2013121493
Art A1
22. August 2013
Anmelder: Sharp Kabushiki Kaisha 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013121493
- Aktenzeichen
- EP12868652
- Anmeldetag
- 13. Dezember 2012
- Veröffentlichung
- 22. August 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/02C23C16/52G05B19/418H01L21/205
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Sharp Kabushiki Kaisha
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sharp
Japanischer Elektronikkonzern mit Sitz in Sakai bei Osaka, seit 2016 mehrheitlich zu Foxconn gehörend. Aktiv in Displaytechnik (LCD, OLED), Unterhaltungselektronik, Haushaltsgeräten sowie Halbleiter- und Solartechnologie.
22.803 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.