Substrate delivery device, substrate processing device and substrate processing method

WO2013121625 Art A1 22. August 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013121625
Aktenzeichen: EP12868831
Anmeldetag: 17. Oktober 2012
Veröffentlichung: 22. August 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20B65H23/24G09F9/00H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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