Pattern-forming method

WO2013121797 Art A1 22. August 2013

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013121797
Aktenzeichen: EP13748656
Anmeldetag: 15. Februar 2013
Veröffentlichung: 22. August 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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