Ion beam irradiation device

WO2013122088 Art A1 22. August 2013

Anmelder: NISSIN ION EQUIPMENT CO., LTD., ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013122088
Aktenzeichen: EP13749080
Anmeldetag: 13. Februar 2013
Veröffentlichung: 22. August 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/317B65G49/06H01L21/265H01L21/677H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NISSIN ION EQUIPMENT CO., LTD.
ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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