Electrodes formed by oxidative chemical vapor deposition and related methods and devices

WO2013123039 Art A1 22. August 2013

Anmelder: Massachusetts Institute of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013123039
Aktenzeichen: EP13710113
Anmeldetag: 13. Februar 2013
Veröffentlichung: 22. August 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L51/00C23C16/00H01L51/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Massachusetts Institute of Technology
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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