Method and apparatus for compensating at least one defect of an optical system

WO2013123973 Art A1 29. August 2013

Anmelder: Carl Zeiss SMS Ltd, Carl Zeiss SMT GmbH 🇮🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013123973
Aktenzeichen: EP12704817
Anmeldetag: 21. Februar 2012
Veröffentlichung: 29. August 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMS Ltd
Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇮🇱 Israel

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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