In-situ annealing in roll to roll sputter web coater and method of operating thereof

WO2013123997 Art A1 29. August 2013

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013123997
Aktenzeichen: EP12708101
Anmeldetag: 24. Februar 2012
Veröffentlichung: 29. August 2013
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/56C23C14/58

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von