Device, lithographic apparatus, method for guiding radiation and device manufacturing method

WO2013124114 Art A1 29. August 2013

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013124114
Aktenzeichen: EP13702604
Anmeldetag: 24. Januar 2013
Veröffentlichung: 29. August 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B6/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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