Inspection apparatus and method

WO2013124131 Art A2 29. August 2013

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013124131
Aktenzeichen: EP13708359
Anmeldetag: 31. Januar 2013
Veröffentlichung: 29. August 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00G03F7/20G01J3/44G01N21/55

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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