Semiconductor-device manufacturing method and semiconductor device

WO2013125647 Art A1 29. August 2013

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Zeon Corporation, Tohoku University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013125647
Aktenzeichen: EP13751713
Anmeldetag: 21. Februar 2013
Veröffentlichung: 29. August 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/768H01L21/3205H01L21/321H01L23/522H01L23/532

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Zeon Corporation
Tohoku University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Zeon

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Zeon Corporation entwickelt synthetische Kautschuke, Spezialchemikalien und Elastomere für Anwendungen in Automobil-, Elektronik- und Batterieindustrie.

2.552 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

837 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von