Method for measuring displacement of planar motor rotor

WO2013127311 Art A1 6. September 2013

Anmelder: Tsinghua University, Shanghai Micro Electronics Equipment Co., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013127311
Aktenzeichen
EP13755301
Anmeldetag
21. Februar 2013
Veröffentlichung
6. September 2013
Rechtsraum
WO
IPC
G01B7/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Tsinghua University
Shanghai Micro Electronics Equipment Co., Ltd.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

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