Hybrid Plasma Processing Systems

WO2013128361 Art A1 6. September 2013

Anmelder: LAM Research Corporation, Dhindsa, Rajinder 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013128361
Aktenzeichen: EP13754258
Anmeldetag: 25. Februar 2013
Veröffentlichung: 6. September 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L23/60H01L23/34H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: LAM Research Corporation
Dhindsa, Rajinder
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von