Method for forming conductive film

WO2013129118 Art A1 6. September 2013

Anmelder: National University Corporation Nagoya University, Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013129118
Aktenzeichen: EP13755069
Anmeldetag: 14. Februar 2013
Veröffentlichung: 6. September 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01B13/00B01J19/08H05H1/24H05K3/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: National University Corporation Nagoya University
Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National University Corporation Nagoya University

Japanische staatliche Universität mit umfangreicher Forschung in Naturwissenschaften, Technik und Medizin, unter anderem bekannt für Arbeiten zu LED-Technologie. Trägerin zahlreicher Patente aus Universitätsforschung in Japan.

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🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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