Tungsten sintered compact sputtering target and tungsten film formed using same target

WO2013129434 Art A1 6. September 2013

Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013129434
Aktenzeichen: EP13755707
Anmeldetag: 27. Februar 2013
Veröffentlichung: 6. September 2013
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/34C23C14/14H01L21/28H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JX Nippon Mining & Metals Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JX Nippon Mining & Metals

JX Nippon Mining & Metals Corporation ist ein japanisches Unternehmen der Nichteisenmetallindustrie, das Kupfer, Halbleitermaterialien und Metallverarbeitung herstellt, Teil der ENEOS-Gruppe.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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