Liquid ejection apparatus, nanoimprint system, and liquid ejection method

WO2013129679 Art A1 6. September 2013

Anmelder: Fujifilm Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013129679
Aktenzeichen: EP13755304
Anmeldetag: 25. Februar 2013
Veröffentlichung: 6. September 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B05C5/00B29C59/02H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujifilm Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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