Slug tuner, microwave plasma source using same, and microwave plasma processing device

WO2013132911 Art A1 12. September 2013

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013132911
Aktenzeichen: EP13758044
Anmeldetag: 25. Januar 2013
Veröffentlichung: 12. September 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/46H01L21/3065H01P5/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von