Method for manufacturing element

WO2013132993 Art A1 12. September 2013

Anmelder: ULVAC, Inc., Marubun Corporation, Toshiba Kikai Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013132993
Aktenzeichen: EP13758290
Anmeldetag: 18. Februar 2013
Veröffentlichung: 12. September 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L33/22H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ULVAC, Inc.
Marubun Corporation
Toshiba Kikai Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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