Laminated piezoelectric element and method for manufacturing same

WO2013133320 Art A1 12. September 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013133320
Aktenzeichen: EP13758436
Anmeldetag: 6. März 2013
Veröffentlichung: 12. September 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L41/083H01L41/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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