Imaging overlay metrology target and complimentary overlay metrology measurement system
WO2013134487
Art A1
12. September 2013
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013134487
- Aktenzeichen
- EP13758450
- Anmeldetag
- 7. März 2013
- Veröffentlichung
- 12. September 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F1/42H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.