Faraday rotator, optical isolator, laser apparatus, and extreme ultraviolet light generation apparatus

WO2013136195 Art A1 19. September 2013

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013136195
Aktenzeichen: EP13715751
Anmeldetag: 20. Februar 2013
Veröffentlichung: 19. September 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G02F1/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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