Fastening member and vacuum device

WO2013136384 Art A1 19. September 2013

Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013136384
Aktenzeichen
EP12870935
Anmeldetag
12. September 2012
Veröffentlichung
19. September 2013
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/00C23C16/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Canon Anelva Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

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