Defect inspection method and device therefor

WO2013136574 Art A1 19. September 2013

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013136574
Aktenzeichen: EP12871576
Anmeldetag: 22. Oktober 2012
Veröffentlichung: 19. September 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/956G01N21/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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