Mask blank, and method for producing mask for transcription use

WO2013136882 Art A1 19. September 2013

Anmelder: HOYA Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013136882
Aktenzeichen: EP13761049
Anmeldetag: 7. Februar 2013
Veröffentlichung: 19. September 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/58G03F1/22G03F1/84G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HOYA Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

1.653 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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