Coating device and coating method

WO2013137124 Art A1 19. September 2013

Anmelder: Toray Engineering Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013137124
Aktenzeichen: EP13761468
Anmeldetag: 8. März 2013
Veröffentlichung: 19. September 2013
Rechtsraum: WO
IPC: B05C13/02B05C9/10B05D1/26G02B5/20G02F1/1335

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Toray Engineering Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toray Engineering

Toray Engineering ist eine japanische Tochtergesellschaft des Toray-Konzerns und stellt Fertigungsanlagen für Halbleiter- und Displayproduktion her. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Verfahrens- und Trenntechnik, ergänzt um Elektronik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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