Method for producing membrane electrode assembly

WO2013137187 Art A1 19. September 2013

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013137187
Aktenzeichen: EP13761355
Anmeldetag: 11. März 2013
Veröffentlichung: 19. September 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01M8/02H01M4/88H01M8/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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