Polishing Composition

WO2013137192 Art A1 19. September 2013

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013137192
Aktenzeichen
EP13761840
Anmeldetag
11. März 2013
Veröffentlichung
19. September 2013
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304C09K3/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fujimi Incorporated
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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