Method of quantitatively characterizing adulterants of silanes and coated susceptor

WO2013138016 Art A2 19. September 2013

Anmelder: Dow Corning Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013138016
Aktenzeichen
EP13706881
Anmeldetag
15. Februar 2013
Veröffentlichung
19. September 2013
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02G01N1/32G01N33/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Dow Corning Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Dow Corning

US-amerikanischer Hersteller von Silikonen und siliziumbasierten Materialien mit Sitz in Michigan, gegründet 1943 als Joint Venture von Dow Chemical und Corning. Das Unternehmen firmiert heute als Dow Silicones Corporation.

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