System and method for particle control near a reticle
WO2013138285
Art A1
19. September 2013
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013138285
- Aktenzeichen
- EP13761720
- Anmeldetag
- 12. März 2013
- Veröffentlichung
- 19. September 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F1/86
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.