Improved method of implantation for fragilization of substrates

WO2013140223 Art A1 26. September 2013

Anmelder: Soitec 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013140223
Aktenzeichen: EP13716367
Anmeldetag: 14. März 2013
Veröffentlichung: 26. September 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/265H01L21/762

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Soitec
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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