Pattern sensing device and semiconductor sensing system

WO2013140907 Art A1 26. September 2013

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013140907
Aktenzeichen: EP13765194
Anmeldetag: 18. Februar 2013
Veröffentlichung: 26. September 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G01B15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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